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“东西买回来,怎么用还要受到限制,赤果果的帝国主义。”杭雨听了睿思职员的介绍,不禁感到一丝愠怒,小小荷兰都这么嚣张。

这家等于说,我们从国外买了一台洗衣机回来,明明什么衣服都能洗,但它硬性规定你不能洗国产品牌的衣服,只能洗外国品牌的衣服。

如果这一套设备不能完成自主研发,并且在工艺上达到世界先进水平,即便我们自主设计出芯片,也不能完成量产,只能请别人帮忙。

睿思现在的光刻机工艺太落后了,目测要赶上世界先进水平,得等个十年八年。十年八年难以盈利,还要不停的投钱,这种事儿也只有国家和大集团能做了。

事实上,杭雨在投资睿思科技之前都犹豫了好久,因为这对公司来说是一个不小的负担。如果江燕公司不做别的,就投资一家睿思,那不算什么。

问题是江燕还投资了其他很多产品,有短期见效的,也有长期见效的。

“外国人什么时候跟我们讲过道理,想摆脱这种局面,只能靠自己。”陆建川说道,他是睿思的技术员,带领杭雨了解公司。

“你们现在能生产多少NM的光刻机?”杭雨问道。

“200。”陆建川不太好意思,回答很简短。

杭雨不再追问了,200纳米离世界先进水平差的太远,人家都用45纳米的。而且杭雨还知道,荷兰人很快就会把这个数据缩减到20以下,简直可怕。

“研制光刻机所需的资金太多了,虽然有江燕公司的参与,但还是捉襟见肘,很多研究工作都得不到保障,希望杭先生能加大支持力度。”陆建川说道。

“我也想,每年五个亿投资,对我们公司也造成了不小的负担。”杭雨说道。

“据我所知,贵公司每年收益可以用百亿来计算,每年多投资几个亿,对我们的工作都是极大的帮助。只要光刻机的精度再提高两个层次,我们就能实现盈利了。”陆建川说道。

“没你想的那么简单,假如你有一百块钱,这里花几块那里花几块,一年又能买几个东西。何况兜里得存点钱,以备不时之需,所以我们的资金其实很紧张。”杭雨说道。

他这个比喻很简单形象,陆建川一听,便不再提这件事情了。

每年五个亿当然不够,大头都是国家出的,杭雨投资这点钱只能算锦上添花。杭雨自己也觉得少了点,于是又道:“如果公司效益好,我会酌情考虑你的建议。”

陆建川露出笑容道:“感谢杭先生的支持。”

杭雨突然觉得挺搞笑的,自己明明这么有钱了,却觉得不够用。

“能给我讲一下光刻机的技术关键吗?”杭雨虽然不懂技术,但是对科技却很感兴趣。

“当然可以,只要杭先生不嫌我讲的繁琐。”陆建川掂量着,怎么讲才能满足杭雨的好奇心,太专业肯定不行。

“你说。”杭雨说道。

“光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种。有用于生产芯片的光刻机,有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。”陆建川介绍道。

用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,而且使用限制多。

“光刻机的组成部分有很多,分别是承载硅片的测量台和曝光台,激光器是光源,光刻机核心设备之一。光束矫正器,矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。能量控制器,控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。”陆建川说道。

还有光束形状设置,设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。

遮光器,在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。

能量探测器,检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。

掩模版,一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。掩膜台,承载掩模版运动的设备,运动控制精度是纳米级的。

物镜,用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。

硅片,用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。由于硅片是圆的,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系,根据缺口的形状不同分为两种,分别叫flat、 notch。

.........

“在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。”

“一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。”

陆建川已经尽量用简单的方式介绍,但是一下子讲那么多,杭雨一时间还是难以消化。不过他更加深刻地感受到了,光刻机的研发难度。

原来也知道这种设备很难做,但是概念模糊,不知道有这么多组成。

“现在的尖端设备越来越复杂了,可以想象,将来需要的尖端技术人员,也会呈倍数增长。都说我们的人口红利快没了,但是我感觉,人多永远都有好处。”杭雨突然有所感想。

“就目前的人口素质来看,我们的人口红利的确越来越小。接下来还能不能发挥人数优势,要看教育效果,希望下一代的整体素质能提高。”陆建川说道。

随着科技发展,越高端的产品,对体系的要求越来越高,庞大。

举个简单的例子,将来有了宇宙飞船,那玩意该有多大,多复杂?没有足够的人口,足够的研究人员怎么可能做得出来,小国想都别想。

估计以我国人口数量,也很难做到那种程度。

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